
ELID磨削加工ELID磨削技术是由日本物理化学研究所的大森整等人于1987年提出的一种磨削新工艺,其基本原理是利用在线的电解作用对金属基砂轮进行修整,即在磨削过程中在砂轮和工具电极之间浇注电解磨削液并加以直流脉冲电流,使作为阳极的砂轮金属结合剂产生阳极溶解效应而被逐渐去除,使不受电解影响的磨料颗粒凸出砂轮表面,从而实现对砂轮的修整,并在加工过程中始终保持砂轮的锋锐性。ELID磨削技术成功地解决了金属基超硬磨料砂轮修整的难题,同时在线电解的微量修整作用使超细粒度砂轮在磨削过程中能保持锋锐性,为实现稳定的超精密磨削创造了有利条件。日本的研究人员使用#8000最大磨粒直径约为2m铸铁基金刚石砂轮对硅片进行磨削,获得了最大表面粗糙度值为01m的高精表面。使用青铜基砂轮对陶瓷材料进行精密磨削也达到了相同的加工效果。哈尔滨工业大学采用ELID磨削技术对硬质合金、陶瓷、光学玻璃等脆性材。
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